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利用MEMS技術(shù)，將傳統(tǒng)的化學(xué)量傳感器進(jìn)行微型化，是MEMS技術(shù)的研究方向之一。與物理量光電開關(guān)傳感器不同的是，這種傳感器的敏感元件上需要有可以與被檢測(cè)分子產(chǎn)生相互作用的物質(zhì)，因此傳感器的設(shè)計(jì)不僅需要考慮MEMS工藝，還需要考慮敏感物質(zhì)在元件表面的制作問題。 基于MEMS的新型微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器，主要有硅基微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器和硅微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器。硅基微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器是襯底為硅，敏感層為非硅材料的微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器，主要有金屬氧化物半導(dǎo)體、固體電解質(zhì)型、電容型、諧振器型。硅微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器主要是金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管MOSFET型和鈀金屬絕緣體半導(dǎo)體MIS二極管型。MEMS技術(shù)將傳感器與IC電路集成一起，而且精度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低、選擇性好、穩(wěn)定性高，同種器件之間的互換性好，可批量生產(chǎn)，所以是傳感器工藝的發(fā)展方向，而且基本所有的傳感器都可以用MEMS技術(shù)生產(chǎn)。 |
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